纯度是石英玻璃的重要目标
,对理化功能和使用功能影响甚大,如失透性、高温强度、软化点、光的传导、热稳定性、化学稳定性、耐辐射性、荧光特性等;此外,用于半导体工业的石英玻璃,对纯度的请求更为苛刻,微量的杂质将给半导体资料的电功能和寿数以及集成度带来严峻的影响。由于半导体资料的纯度请求控制在ppb数量级以下,因此石英玻璃则应控制在ppm数量级以习惯半导体工业的需求。b的分凝系数近于1,难除去,是有害的杂质之一,cu、fe、ti等影响半导体的少子寿数,k、na、li是单晶资料产生微缺点的有害杂质。
石英玻璃的耐骤冷性能如何?
石英玻璃的热膨胀系数小,为5.5×10-7/℃,只有普通玻璃的1/12~1/20.部标准规定将试样灼烧到1200℃后急速投到冷水中,反复三次以上不允许炸裂。石英玻璃加入适量钛元素后还可做成零膨胀系数的材料,在激光技术、天文和尖端技术中已得到应用。
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透明石英玻璃的膨胀系数是温度的函数: α0,t=1/l0 ×(lt-l0)/t 式中:l0=温度0℃时的长度 lt=温度t℃时的长度 t=摄氏温度 石英玻璃的粘度,导热率、比热及使用温度等见表9,10,11,12,13. 表9 石英玻璃的粘度(应变点、退火点、软化点)与温度的关系 粘度(lgη,泊) 水晶石英玻璃 合成石英玻璃 应变点 14.5 1075℃±25 1025℃±25 退火点 13.0 1140℃±25 1120℃±25 软化点 7.6 1730℃±40 1600℃±40 加